
大口徑平面鏡的主要加工方式及利弊分析
摘要:大口徑平面鏡的主要加工方式及利弊分析
大口徑平面鏡主要指直徑大于φ300mm的平面鏡,包括反射鏡和透射窗口。這里給大家簡單介紹一下目前國內的幾種主流加工方式:
1、單軸機加工
優勢:設備造價低,加工過程中元件可以不下盤進行檢測,操作相對方便;
弊端:精度低,可控性差,周期長。
這種方式一般用于面形低于三分之一波長(632.8nm)的元件。
2、環拋機加工
優勢:元件面形漸變可控,中高頻誤差等指標基本屬于全指標合格,不會在某一指標上出現短板。
弊端:質量、精度、周期與廠家技術能力緊密相關,需要找到一家像我們這種靠譜的企業,能夠保證在短期內獲得高精度高質量元件。
這種方式是目前的主流加工方式。
3、小工具加工(小磨頭、磁流變、氣囊拋光等)
優勢:確定性拋光,加工周期和PV值可控。
弊端:無法做到全指標合格,比如中高頻誤差不理想等;對元件的輸入面形有一定要求。
目前這些小工具加工方式在國內被廣泛采用。
4、無接觸式加工(離子束、射流拋光等)
優勢:確定性拋光,加工效率高;
弊端:各有各的,比如離子束發熱等問題
目前這類拋光方式也已開始應用。