大口徑平面鏡的主要加工方式及利弊分析
作者:MARK    發布于:2020-05-06 08:37:22    文字:【】【】【
摘要:大口徑平面鏡的主要加工方式及利弊分析

大口徑平面鏡主要指直徑大于φ300mm的平面鏡,包括反射鏡和透射窗口。這里給大家簡單介紹一下目前國內的幾種主流加工方式:

1、單軸機加工

     優勢:設備造價低,加工過程中元件可以不下盤進行檢測,操作相對方便;

     弊端:精度低,可控性差,周期長。

     這種方式一般用于面形低于三分之一波長(632.8nm)的元件。

2、環拋機加工

     優勢:元件面形漸變可控,中高頻誤差等指標基本屬于全指標合格,不會在某一指標上出現短板。

     弊端:質量、精度、周期與廠家技術能力緊密相關,需要找到一家像我們這種靠譜的企業,能夠保證在短期內獲得高精度高質量元件。

     這種方式是目前的主流加工方式。

3、小工具加工(小磨頭、磁流變、氣囊拋光等)

    優勢:確定性拋光,加工周期和PV值可控。

    弊端:無法做到全指標合格,比如中高頻誤差不理想等;對元件的輸入面形有一定要求。

    目前這些小工具加工方式在國內被廣泛采用。

4、無接觸式加工(離子束、射流拋光等)

    優勢:確定性拋光,加工效率高;

    弊端:各有各的,比如離子束發熱等問題

    目前這類拋光方式也已開始應用。

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