主盤尺寸φ3000mm以上，可根據用戶需要定制。φ3000平面研磨機是上海中晶企業匯集了市面研磨用機器的設計組裝技術。可加工元件直徑達到1500mm以上的平面光學玻璃。機器更是達到9t。機械本體寬度為4000mm，長度為4000mm，為框架結構。轉速可多變速運行。

要提高零件的平面精度，必須根據研磨物的形狀精度來判斷研磨方法。在本公司，用三維測量器確認加工前和加工過程中的形狀精度，掌握對象物的傾向。根據得到的數據，判斷定盤的形狀和研磨物的運動，從而提高加工精度。

另外，在前加工的磨削工程中也形成了平坦的一面，在本設備加工中要追究更嚴格的平面度、粗糙度的數值。大型平面研磨的加工技術，根據測量、磨削、研磨的配合技術來對應高精度的要求。